WF6 se uglavnom koristi kao sirovina za proces kemijskog taloženja iz parne faze (CVD) metalnog volframa u elektroničkoj industriji. WSi2 napravljen od WF6 može se koristiti kao materijal za ožičenje u velikim integriranim krugovima (LSI), a može se koristiti i kao sirovina za poluvodičke elektrode, fluor kao sirovina za kemijske agense, katalizatore polimerizacije, optičke materijale itd.